無塵室(潔凈室)測試驗(yàn)收,首先要確認(rèn)無塵室各項工程已完成并運(yùn)轉(zhuǎn)至少24小時以上,方能進(jìn)行如下各項測試。各測試項目,其也有一定的先后順序。
無塵室(潔凈室)測試驗(yàn)收,首先要確認(rèn)無塵室各項工程已完成并運(yùn)轉(zhuǎn)至少24小時以上,方能進(jìn)行如下各項測試。各測試項目,其也有一定的先后順序。
首先要測定HEPA/ULPA風(fēng)速,
HEPA/ULPA的風(fēng)速是測定其泄漏的前提,濾網(wǎng)沒有風(fēng)速或者風(fēng)速很小都能直接影響hepa掃漏的準(zhǔn)確性,同時也影響環(huán)境內(nèi)粒子的過濾效果。從事潔凈室工程設(shè)計施工多年經(jīng)驗(yàn)的工程師應(yīng)該都知道,竣工驗(yàn)收時,一般新裝HEPA風(fēng)速要達(dá)到0.40-0.45m/s以上,同時回風(fēng)風(fēng)速一般要在2.0m/s左右,無塵室內(nèi)的過濾效果才明顯,如此風(fēng)速,一些1.0以上大顆粒會被氣流通過回風(fēng)帶走。風(fēng)速小于0.35的會造成大顆粒在室內(nèi)一直循環(huán)而不被回風(fēng)帶走,這樣的話做環(huán)境粒子測試將無法通過,待室內(nèi)運(yùn)行一段時間后,無塵室正常生產(chǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)的時候?qū)L(fēng)速范圍將調(diào)至在0.25-0.45之間亦可保證室內(nèi)的潔凈度。
HEPA/ULPA的掃漏,一般包括倆個部分,一是HEPA/ULPA的表面掃漏,另外就是其安裝的周邊密封性掃漏,HEPA/ULPA的表面在廠家出廠前也進(jìn)行過測試,但是不能確定工人在安裝過程中會造成損壞,所以表面掃漏也是必須的,周邊密封性的掃漏是檢驗(yàn)安裝是否到位,氣密是否嚴(yán)實(shí),在一般的掃漏過程中,周邊密封性掃漏是必要的工作,也是掃漏的重點(diǎn)。
HEPA/ULPA風(fēng)速測試中,為避免邊緣受到渦流的影響,一般可以采取四周PVC圍護(hù)的方式,以利測量結(jié)果的準(zhǔn)確性